FSM använder metall (aluminium eller beryllium) eller kiselkarbidsubstrat beroende på applikationens specifika krav.Vi kan tillhandahålla speglar med praktiskt taget alla beläggningskrav från grundläggande metallbeläggningar till dielektriska beläggningar med hög reflektivitet designade för högenergilaser (HEL) applikationer.BlueHalo FSM ger hög acceleration;>10 000 radianer/sek2 för vår 1”-2” klass av FSM.Våra FSM:er uppnår hög bandbredd (>1 kHz optisk eller position, beroende på storlek) och ger lågt jitter på <1 µrad.
Spegelstorlek | 4 tum | 6 tum | 8 tum | 10 tum | >10 tum | 4 tum | 6 tum | 8 tum | 10 tum | >10 tum |
Upplösning | 1~3μrad | 3~5μrad | 1~3μrad | |||||||
Sluten bandbredd | 100~300Hz(@1%travel) | 10 ~ 200Hz (@1%travel) | ||||||||
Stegsvar | 4~10ms(@1%travel) | 3 ~ 30 ms(@1%travel) | ||||||||
Vinkelområde | ≤ ±25mrad | |||||||||
Repeterbarhet | ≤±5μrad | ≤±3 ~ ±10μrad | ||||||||
Driftstemperatur | -40℃ ~ 70℃ | |||||||||
Förvaringstemperatur(℃) | -55℃ ~ 85℃ | |||||||||
Antivibration | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Anti-Impact | GJB 150.18A-2009 |